Le Français Riber, spécialiste des équipements MBE pour l’industrie des semiconducteurs, annonce la signature d’une licence d’exploitation avec Toulouse Tech Transfer (TTT), opérateur régional de la valorisation et du transfert de technologies de la recherche publique en Occitanie.

L’accord porte sur la commercialisation exclusive d’une technologie de mesure de courbure et de défaut de surface réfléchissante, issue du LAAS-CNRS. Les chercheurs du LAAS-CNRS, Alexandre Arnoult, ingénieur de recherche et Jonathan Colin, post doctorant, ont développé un dispositif optique, qui contribue à améliorer considérablement le contrôle des opérations de dépôts de couches minces de matériaux. Le dispositif peut être utilisé dans tout type d’environnement. Il permet de mesurer en temps réel et sur des durées importantes de production, la courbure et les défauts de tout type de surface. Il aide par exemple à éviter les dislocations, à réaliser des tranches en conservant une parfaite planéité ou à contrôler l’homogénéité d’un dépôt. Le dispositif sera également équipé d’algorithmes de machine learning, qui seront spécialement développés pour optimiser l’analyse et le contrôle du processus de croissance des matériaux.

L’exploitation de l’ensemble de cette technologie et des savoir-faire issus de cette recherche sous la nouvelle marque EZ-Curve va permettre à Riber d’étendre son offre de solutions et de services, en apportant aux laboratoires de recherche et aux industriels des semiconducteurs une valeur ajoutée supplémentaire en adéquation avec leurs besoins.

Pour les industriels, assurer la traçabilité et la fiabilité de leurs mesures est essentiel pour maîtriser leurs procédés de fabrication et veiller à la qualité et à la performance de leurs produits. Pour les chercheurs, analyser et comprendre les comportements liés à la croissance des matériaux permet d’accroître les bases de leur connaissance fondamentale.

Selon Riber, la solution EZ-Curve constitue une innovation majeure sur le marché de la MBE (Molecular Beam Epitaxy – épitaxie par jets moléculaires). En plus de contrôler le procédé de croissance épitaxiale avec des mesures de haute précision de réflectance 3D, le dispositif offre également des perspectives plus larges en concourant à la mise en œuvre de processus automatisés de contrôle avancé et, à plus long terme, au développement de systèmes MBE dits intelligents.

« EZ-Curve est une innovation technologique significative par rapport aux instruments de mesure existants sur le marché. Notre ambition est d’apporter à nos clients très précisément les leviers pour améliorer considérablement leur process et les résultats de leurs développements, qu’ils soient académiques ou industriels. Cette nouvelle brique technologique et son industrialisation sont en capacité de renforcer encore plus les performances de la MBE », souligne Philippe Ley, directeur général de Riber.

« Suivre les déformations d’une plaquette pendant la croissance ou le traitement d’un film mince sous vide est une source inégalée d’informations quant aux processus atomistiques en jeu et au contrôle qualité pour des procédés de série. Ce suivi était jusqu’à présent réservé aux spécialistes utilisant des outils complexes à maitriser et contraignants. Notre nouvelle technologie permet ce tour de force d’allier une sensibilité accrue, une grande robustesse et une simplicité de mise en œuvre qui rend enfin possible son déploiement sur un grand nombre de systèmes de pointe et/ou de production. Par exemple, nous pouvons enfin suivre en continu la croissance par épitaxie par jets moléculaires de structures complexes de semi-conducteurs peu contraints, ce qui ouvre la voie au rétrocontrôle in-situ en cours de procédés, et donc à l’optimisation et à l’automatisation des procédés », déclare Alexandre Arnoult – LAAS-CNRS.